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主要維修 AE( Advanced Energy) 、 ENI （ MKS ）等 RF 射頻電源及直流電源 。同時為各地區(qū)的半導體、數據存儲、光電子、真空鍍膜、平板顯示、研究所等行業(yè)提供級射頻電源維修保養(yǎng)。為 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供維修維護服務。

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RFPP（RF、LF）VHF、HFV等)、 美國ENI電源（DCG、RPG、DPG、ACG、OEM等)、德國Singulus電源等。

服務：AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射頻電源，HiTek Power，Glassman、Spellman高壓電源

維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的設備電源，包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。服務：擁有一批技術人才，進口射頻電源工程技術支持，消化吸收國外技術基礎上發(fā)展，鍛煉培養(yǎng)十幾名的維修工程師。
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