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產(chǎn)品分類
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| 品牌 | Newport/美國 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
ZVR 通過沿著旋轉(zhuǎn)平臺外圓周的三個點（以 120 度分開）剛性地支撐和驅(qū)動有效載荷。常規(guī)設(shè)計在旋轉(zhuǎn)臺中心使用一個單個凸輪、楔塊或螺絲。具有串聯(lián)導(dǎo)軌和驅(qū)動機制的 Newport 的三點設(shè)計具有很多優(yōu)點，非常適用于輕微不平衡載荷應(yīng)用（例如，晶片探測），可以沿著卡盤的外邊緣位置施加垂直力。因這些偏心負(fù)載造成的角變形降低到最小程度，并且在垂直運動期間也不存在彎曲現(xiàn)象。
ZVR 設(shè)計的一個重要性能是含有一個穿過轉(zhuǎn)臺中心的 50 mm 通光孔徑，以支持通過電纜、線路和其他工具。
步進電機版本是一種更加經(jīng)濟實惠的版本，適用于要求較低的應(yīng)用。步進電機版本不使用編碼器反饋，但通過命令控制的步長和微步長的數(shù)量來到達某一位置。步進電機的一個優(yōu)點是，即使在空轉(zhuǎn)時也能提供全轉(zhuǎn)矩。 ZVR平臺與ESP兼容，允許用戶在與Newport控制器一起使用時享受Newport的智能平臺功能。
ZVR 具有一個調(diào)節(jié)范圍為 4 mm 的上限開關(guān)，使用戶可以設(shè)置垂直行程的上限。
Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標(biāo)準(zhǔn)測量和記錄的規(guī)格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。
Compatible motion controllers for this stepper motor driven stage are:
●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
●ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.
●SMC100PP Single Axis Motion Controller: 0.25 µm MIM for Z-axis and 1.0 mdeg for ?-axis when used with SMC100PP.
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